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寫真化學膜厚測量裝置

寫真化學膜厚測量裝置

產(chǎn)品介紹

寫真化學膜厚測量裝置

 

標準型號可測量膜厚對象:

抗蝕劑厚度

多孔膜

ITO

多晶硅

電池電極

玻璃粘合晶片

端點檢測

貼合晶片等

 

自動映射膜厚儀

可測量膜厚對象:

抗蝕劑厚度

貼合晶片

多孔膜

ITO

多晶硅

電池電極

玻璃粘合晶片

帶圖案晶片等

 

分為:標準型號、紅外透射式型號、自動映射膜厚儀、成像膜厚儀

 

寫真化學膜厚測量裝置

通用型膜厚監(jiān)視器(標準型號)

可用作端點監(jiān)視器

也可以對應粘接劑層、玻璃層等通常較難測量的材料

 

通用型膜厚監(jiān)視器(紅外透射式型號)

對應反射弱的薄膜材料

可對應卷對卷測量

 

自動映射膜厚儀

除了高速自動映射、等高線、3D圖顯示之外,還自動解析直方圖等統(tǒng)計信息

標準對應φ100300mm的圓形晶圓,也可對應方形被測物等特殊形狀,可選配定制載物臺板

可對應選配項目中的自動校準

 

成像膜厚儀

微細二維膜厚分布原位的可視化

通過在GUI上區(qū)域,計算微小區(qū)域的膜厚


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